Four-point probe

释义 Definition（中文）

四点探针法：一种电学测量方法/装置，通过四个线性排列的探针与材料表面接触，外侧两针通电、内侧两针测电压，以计算材料的电阻率（resistivity）或方块电阻（sheet resistance）。常用于薄膜、半导体晶圆、导电涂层等，能减少接触电阻对测量的影响。

发音 Pronunciation（IPA）

/ˈfɔːr pɔɪnt proʊb/

例句 Examples（EN + 简中）

A four-point probe can measure the sheet resistance of a thin film.
四点探针可以测量薄膜的方块电阻。

Because contact resistance can distort results, the lab used a four-point probe to characterize the wafer’s resistivity more accurately.
由于接触电阻会扭曲结果，实验室使用四点探针对晶圆的电阻率进行更精确的表征。

词源 Etymology（中文）

该术语由 four-point（四点） + probe（探针/探头） 组成，直译即“四个接触点的探针”。其核心思想与电学中的开尔文连接（Kelvin connection）相近：把“供电”和“测压”分开，从而降低引线与接触造成的误差。作为实验与产业测量术语，主要在20世纪随材料与半导体测试技术发展而普及。

相关词 Related Words

• Kelvin Connection
• Sheet Resistance
• Resistivity
• Ohmic Contact
• Probe Station
• Van Der Pauw Method
• Thin Film

文学与著作 Literary & Notable Works（出现语境）

• Semiconductor Material and Device Characterization（Dieter K. Schroder）：介绍四点探针用于方块电阻/电阻率测量与数据修正。
• Physics of Semiconductor Devices（S. M. Sze & Kwok K. Ng）：在材料与器件表征相关章节中提及四点探针测量思路与应用场景。
• Handbook of Thin Film Deposition（薄膜沉积手册类著作，多版本/多作者）：常在薄膜电学表征部分讨论四点探针测量与工艺监控。