微机电系统（常简称 MEMS）：把微型机械结构、传感器/执行器与电子电路集成在同一芯片或同一封装中的微型系统，常用于感知、控制与信号处理（如加速度计、陀螺仪、压力传感器、微镜阵列等）。
/ˌmaɪkroʊɪˌlɛktroʊməˈkænɪkəl ˈsɪstəmz/
Microelectromechanical systems are used in smartphone accelerometers.
微机电系统被用于智能手机的加速度计中。
Microelectromechanical systems enable tiny sensors and actuators to measure motion, pressure, and sound with low power consumption.
微机电系统让微型传感器与执行器能够以较低功耗测量运动、压力与声音等信号。
该术语由三部分组合而来：**micro-**（微小的）+ **electro-**（电的/电子的）+ mechanical（机械的），合起来强调“在微米尺度上把电子与机械结构集成”，再加上 systems 表示其不仅是单个器件，而是具备协同功能的系统。20世纪80—90年代随着硅微加工与集成电路工艺发展而广泛流行，常用缩写为 MEMS。
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